CeO<SUB>2 연마입자의 합성온도와 수계안정성이 CMP 특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.40 No.2 2003 pp.167-171
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CeO<SUB>2 슬러리에서 Glycine의 흡착이 질화규소 박막의 연마특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.40 No.1 2003 pp.77-80
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산화제에 따른 텅스텐 표면의 산화막 형성 및 용해 특성이 텅스텐 CMP 공정에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국전기화학회 한국전기화학회 학술대회논문집 2003 p.42
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희석혼합체의 기계적 분쇄에 의한 나노 CeO<SUB>2의 합성
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.39 No.8 2002 pp.764-768
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[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.37 No.12 2000 pp.1146-1149
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