Pulsed-DC Magnetron Sputtering Source에서 Pulse Duty, 자기장의 세기, Target 물질의 종류에 따른 단위 파워당 증착률 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.200
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대면적 플라즈마 공간균일도 진단에 활용 가능한 여기온도 진단법
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.89
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EEPF in a high power pulsed DC magnetron sputtering discharge
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2005 p.154
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그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.224
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그리드를 장착한 DC 마그네트론 스퍼터링 플라즈마의 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.120
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Unbalanced DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.127
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두 개의 그리드를 이용한 개선된 마그네트론 플라즈마에서 플라즈마 특성 측정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2003 p.221
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그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2003 pp.91-92
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