RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성된 AIN 박막의 공정조건에 따른 우선 배향성 및 평탄성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.17 No.10 2004 pp.1023-1028
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
RF 스퍼터링을 이용한 AIN 박막의 증착특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회논문집 2003 pp.1049-1052
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