저온 Si(001) 저온 성장중 에피텍시 두께: 기판 vicinality의 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.8 No.b4 1999 pp.519-523
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[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.25 No.5 2016 pp.354-364
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[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 인포메이션 디스플레이 Vol.17 No.5 2016 pp.14-23
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[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 인포메이션 디스플레이 Vol.15 No.4 2014 pp.20-26
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Effect of Plasma Pretreatment on Superconformal Cu Alloy Gap-Filling of Nano-scale Trenches
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.53
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Capacitively Coupled Plasma Source를 이용한 Etcher의 상부 전극 온도 변화에 따른 Etch 특성 변화 개선
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.5 2011 pp.322-326
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ZnO 기반 박막트랜지스터의 기계적 안정성 확보에 관한 연구
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집B Vol.35 No.1 2011 pp.17-22
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[Kisti 연계] 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 Vol.14 No.4 2011 pp.14-20
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The effect of plamsa treatment on superconformal copper gap-fill
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.249
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[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 pp.252-253
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Role of a passivation layer in superconformal copper gap-fill by chemical vapor deposition
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.215
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Mechanically Flexible PZT thin films on Plastic Substrates
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2009 p.13
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Effect of hydrogen plasma pretreatment on Cu bottom-up filling of trench with Ru barrier metal
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 p.254
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