PDMS 몰드를 이용한 초고온 MEMS용 SiCN 미세구조물 제작과 그 특성
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.15 No.1 2006 pp.53-57
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[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.13 No.4 2004 pp.303-308
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.125-128
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PDMS 몰드를 이용한 초고온용 SiCN 구조물의 제작
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.376-379
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초고온 MEMS용 TiN/3C-SiC의 Ohmic 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.834-837
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SDB와 etch-back 기술에 의한 MEMS용 SiCOI 구조 제조
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.830-833
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Si(100) 기판위에 성장된 3C-SiC의 RIE 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.892-895
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