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사파이어 웨이퍼의 ELID 랩핑 가공 특성에 관한 연구
곽태수, 한태성, 정명원, 김윤지, 우에하라 요시히로, 오오모리 히토시
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.29 No.12 2012 pp.1285-1289
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