스퍼터법으로 증착된 ITO/Glass 박막의 전기 및 광학적 특성과 플라즈마 처리에 따른 박막의 표면거칠기 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.131
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대면적 Glass 기판 위에 Double Erosion MSS로 증착된 고저항 ITO 박막의 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2001 p.113
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