간이형 먼지센서 기술 - 광학기반 간이형 먼지센서의 환산질량농도 표시에 관한 성능평가방법
[Kisti 연계] 한국공기청정협회 공기청정기술 Vol.30 No.3 2017 pp.1-5
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클린룸 최신 평가기술 집중분석 - EFFU의 먼지제거 성능평가방법 및 응용
[Kisti 연계] 한국공기청정협회 공기청정기술 Vol.30 No.4 2017 pp.26-29
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평판디스플레이의 대기중 분진농도에 따른 수명예측 시험방법 개발
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.12 No.4 2013 pp.45-48
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Equipment Fan Filter Unit (EFFU)의 Particle 제거 성능평가 방법
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.11 No.2 2012 pp.59-62
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반도체 공정장비 Gas Scrubber의 에너지 모니터링 시스템개발
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.10 No.2 2011 pp.13-17
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초순수 물(Ultra Pure Water)내 비휘발성 잔류 물질(Nonvolatile Residue, NVR)의 모니터링을 위한 NVR 측정시스템의 개발
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.9 No.1 2010 pp.55-59
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반도체 공정용 차압식 질량 유량 제어 장치의 개발 및 성능 평가
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.7 No.3 2008 pp.29-34
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대기중 입자 측정을 위한 광대역(0.01-$5.0{\mu}m$) 계측기 (WAPS) 개발 및 수원 지역 대기 입자 분포 측정 연구
[Kisti 연계] 한국대기환경학회 한국대기환경학회 학술대회논문집 2008 pp.272-273
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[Kisti 연계] 한국대기환경학회 한국대기환경학회 학술대회논문집 2008 pp.357-358
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PZT를 이용한 Semi-inchworm구동기법의 초정밀 회전 스테이지 개발
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.1 2007 pp.37-41
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[Kisti 연계] 한국대기환경학회 한국대기환경학회 학술대회논문집 2006 pp.226-227
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대기 에어러솔 흡습성 관측을 위한 H-TDMA 장비 구성과 시험 측정
[Kisti 연계] 한국대기환경학회 한국대기환경학회 학술대회논문집 2006 pp.331-333
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진공 환경내 실시간 입자 모니터링 시스템의 개발 및 성능평가
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.5 No.1 2006 pp.45-49
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제18차 ISO/TC209 Meeting 참석결과 보고
[Kisti 연계] 한국공기청정협회 공기청정기술 Vol.19 No.4 2006 pp.65-69
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[Kisti 연계] 한국대기환경학회 한국대기환경학회 학술대회논문집 2006 pp.227-228
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고진공에서 이온 카운터를 사용한 실시간 입자 모니터링 시스템의 개발
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2006 pp.255-258
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Deep RIE(reactive ion etching)를 이용한 가스 유량센서 제작
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2006 pp.198-201
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상압 분위기에서 QD 제작 및 이를 응용한 비휘발성 QD 메모리 특성 평가
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2005 pp.137-141
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300 mm 웨이퍼 위의 에어로졸 나노 입자의 증착 장비 개발을 위한 수치 해석적 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.4 No.1 2005 pp.49-53
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