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반도체 생산설비 루츠형 진공펌프 계통에 대한 유동-구조 연성해석
이찬, 길현권, 김강천, 김준곤, 심재업, 윤일중
[Kisti 연계] 유체기계공업학회 유체기계저널 Vol.16 No.2 2013 pp.10-14
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