$Ta(OC_2H_5$)5와 $NH_3$를 이용한 탄탈륨 산화막의 원자층 단위 증착 및 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1998 pp.75-76
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$\textrm{Ta}(\textrm{OC}_{2}\textrm{H}_{5})_{5}$와 $\textrm{NH}_3$를 이용한 산화탄탈륨 막의 원자층 증착 및 특성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.10 1998 pp.945-949
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