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식각공정용 가스방전에서 이온 및 활성종 밀도의 전자밀도 및 온도 의존성에 대한 수치해석적 분석
안충기, 박민혜, 손형민, 신우형, 권득철, 유신재, 김정형, 윤남식
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.6 2011 pp.422-429
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