원자층 증착 공정을 이용한 탄탈륨 카보나이트라이드 박막의 조성 및 고체 상 변화에 따른 박막 특성 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2008 p.24
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A Study on the atomic layer deposited Tantalum carbo nitride films using TBTDET and hydrogen
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.82
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원자층 증착법을 이용한 Tantalum carbonitride 박막의 증착 및 특성 평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.12
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In-situ diagnosis using FT-IR and the characterization of Hf nitride films
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2006 p.164
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.45-49
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DLI-MOCVD공정을 이용한 Hf aluminate 증착
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2002 p.83
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