Through-Silicon Via를 활용한 3D NAND Flash Memory의 전열 어닐링 발열 균일성 개선
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.36 No.1 2023 pp.23-28
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고압 중수소 열처리에 의한 MOSFETs의 특성 개선에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.35 No.3 2022 pp.264-268
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