InSb 적외선 소자제작을 위한 $SiO_2$, $Si_3N_4$증착 온도에 따른 계면 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 pp.57-58
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
InSb 적외선 감지 소자용 $Si_3N_4$, $SiO_2$ 절연막 계면 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.163
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
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