CMP 공정 중 세라믹 컨디셔너의 물리적, 화학적 특성평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2002 p.55
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CMP 공정 중 polishing performance 향상을 위한 세라믹 컨디셔너의 개발과 특성평가
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2002 p.56
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다이아몬드 CVD 증착에 의한 세라믹 CMP Conditioner의 Conditioning 거동
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회논문집 2002 pp.270-273
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Cu 박막 CMP 공정중 슬러리 첨가제에 따른 특성 평가
[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 한국마이크로전자및패키징학회 학술대회논문집 2001 pp.230-234
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