High-k 유전박막 MIS 커패시터의 플라즈마 etching damage에 대한 연구
[Kisti 연계] 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회논문집 2003 pp.1045-1048
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
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