구리 금속선의 산화 방지를 위한 알루미늄 박막의 산화 방지 특성
[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A Vol.a31 No.10 1994 pp.108-113
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알루미늄/실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학 증착 알루미늄의 스파이킹 특성
[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A Vol.a31 No.12 1994 pp.115-121
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