열처리 효과가 질소이온주입후에 성장시킨 산화막의 $Q_{BD}$ 특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 Vol.37 No.3 2000 pp.6-13
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