유기금속 화학증착법을 이용한 탄탈륨 산화 박막의 층덮힘 특성 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.6 No.1 1996 pp.106-115
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열CVD방법으로 증착시킨 탄탈륨 산화박막의 특성평가와 열처리 효과
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.5 No.1 1995 pp.42-54
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초고집적회로의 금속연결을 위한 구리박막의 유기금속화학증착법
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1994 pp.87-89
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열처리 방법이 MOCVD에 의하여 증착된 탄탈륨 산화박막과 실리콘 계면에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1994 pp.85-86
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