분산형 백색광 간섭계를 이용한 CMP 테스트 웨이퍼의 $SiO_2$ 두께 측정
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2007 pp.86-87
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
음향인텐시티법을 이용한 공조 덕트소음기의 감음성능평가방법에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국음향학회 한국음향학회지 Vol.6 No.2 1987 pp.54-61
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