Nano-Mechanics 분석을 통한 질화 텅스텐 확산방지막의 질소 유량에 따른 박막내 응력 변화 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.386
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Nano-mechanics 분석을 기반으로 Sol-gel PZT 박막의 Plasma에 의한 물리적 특성 변화 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.216
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Nano-Mechanics 분석을 통한 질화 텅스텐 확산방지막의 질소 유량에 따른 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.22 No.4 2013 pp.188-192
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게이트 유전체용 $HfO_2$ 박막의 증착 및 열처리 조건에 따른 Nano-Mechanical 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 pp.291-292
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UV 처리에 의한 T-OLED용 산화전극에 적합한 Ag 박막 연구: Nano-Mechanical 특성 분석을 중심으로
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.238
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RF Sputtering의 증착 조건에 따른 HfO2 박막의 Nanocrystal에 의한 Nano-Mechanics 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.21 No.5 2012 pp.273-278
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UV 처리에 의한 T-OLED용 산화전극에 적합한 Ag 박막연구: Nano-Mechanics 특성 분석을 중심으로
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.21 No.6 2012 pp.328-332
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Nano-Indenter를 이용한 W-N 확산방지막의 Stress 거동 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 pp.315-316
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Nanoindenter를 이용한 박막의 신뢰도 측정과 열적 안정성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.173
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