아민과 카르복실산이 함유된 수계용액의 구리 배선 공정의 세정특성
[Kisti 연계] 한국화학공학회 Korean chemical engineering research Vol.59 No.4 2021 pp.632-638
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산화구리 잔유물 제거를 위한 카르복시산 함유 반수계 용액의 세정특성
[Kisti 연계] 한국화학공학회 Korean chemical engineering research Vol.54 No.4 2016 pp.548-554
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광촉매 TiO2 층의 비접촉식 공정을 통한 저온 실리콘 산화박막 성장
[Kisti 연계] 한국공업화학회 공업화학 Vol.19 No.2 2008 pp.236-241
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