90 nm급 텅스텐 폴리사이드 게이트 식각공정에서 식각종말점의 안정화에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.18 No.3 2005 pp.206-211
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$SF_6$와 $SF_6-N_2$ 가스를 이용한 텅스텐 박막의 플라즈마 식각에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.8 No.3 1999 pp.291-297
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SMD형 고안정 TCXO용 Quartz Crystal의 전극에 따른 주파수 특성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1998 p.94
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$UV/O_3$을 이용한 Si contact hole 건식세정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.10 No.1 1997 pp.8-14
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경화된 수중불분리 콘크리트의 제강도 특성에 관한 실험적 연구
[Kisti 연계] 한국콘크리트학회 한국콘크리트학회 학술대회논문집 1996 pp.373-378
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