Ellipsometry를 이용한 193 nm photoresist에서의 물의 흡수 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2006 pp.172-176
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Ellipsometry를 이용한 193 nm photoresist에서의 물의 흡수 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.5 No.2 2006 pp.37-39
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Eximer laser를 이용한 a-Si박막의 결정화 현상 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2006 p.177
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Realtime spectroscopic ellipsmetry studies of growth and etching of copper thin film
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2006 p.182
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Mueller Matrix Ellipsometry 제작 및 응용
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.1 2004 pp.31-34
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Retardance Measurements Using Rotating Sample and Compensator Spectroscopic Ellipsometry
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2004 pp.169-173
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Ellipsometry에서의 Calibration 및 입사면 고정형 Ellipsometer
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.4 2003 pp.23-26
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Ellipsometry 에서의 calibration 및 입사면 고정형 ellipsometer
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.18-22
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Muller matrix ellipsometry 제작 및 응용
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.12-17
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