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다중 음극 전자빔을 이용한 대면적 플라즈마 소스
강양범, 전형탁, 김태영, 정기형, 고동균, 정재국, 노승정
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.9 No.9 1999 pp.861-864
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