유도결합 플라즈마(ICP) Sputtering에 의한 평판 디스플레이(FPD)용 ITO 박막의 저온 증착
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.37 No.3 2004 pp.146-151
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산화막 식각 기구 연구를 위한 QMF Ion Beam 장치의 제작
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.37 No.4 2004 pp.220-225
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내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 pp.115-116
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유도결합 플라즈마-마그네트론 스퍼터링 방법을 이용한 저온 폴리실리콘 제조
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.37 No.3 2004 pp.164-168
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[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.37 No.3 2004 pp.185-190
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고밀도 유도 결합 플라즈마를 이용한 박막 증착 장치 개발
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.26-30
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유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착법에 의해 제조된 carbon nitride 박막의 기판 rf bias 효과에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2003 p.220
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유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착법에 의해 제조된 carbon nitride 박막의 기판 r.f. bias 효과에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2003 p.53
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UHV용 유도결합 플라즈마 라디칼건에서 $N_2$의 분해도 측정
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2003 p.26
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Compressor용 단상유도전동기의 부하 Matching 설계
[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2003 pp.807-809
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유도결합 플라즈마를 이용한 광촉매용 $TiO_2$ 박막의 저온 증착
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2003 p.1
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고속ㆍ저온의 MgO 증착을 위하여 고안된 ICP-PVD법
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2003 p.5
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유도 결합 플라즈마 화학기상 증착법에 의한 TiN 증착
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2002 p.5
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유도 결합 플라즈마 스퍼터링 증착법에 의한 광촉매용 $TiO_2$ 증착
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2002 p.6
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유도 결합 플라즈마를 이용한 PVD법 의한 MgO 증착
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2002 p.1
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Internal ICP를 이용한 In-line sputter ion plating 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2001 p.176
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유도결합 플라즈마 스퍼터링법을 이용한 상온에서의 TiN막의 증착에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2001 pp.15-16
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유도결합 플라즈마 증발법을 이용한 CrN 박막 증착에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2001 p.36
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