In-situ diagnosis using FT-IR and the characterization of Hf nitride films
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2006 p.164
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RF펄스 플라즈마에서 cutoff 탐침을 이용한 전자밀도의 시간변화 측정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2006 p.116
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진공 핵심 부품 소재의 특성평가 및 진공공정 진단 기술
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2006 p.37
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저온에서의 Quartz Crystal Microbalance을 이용한 Mass Flux 측정 장치 제작
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2005 p.183
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TDS를 이용한 스테인레스 강 표면의 탈기체 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2003 p.158
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건식 진공펌프와 확산펌프에서의 오일 증기 역류 현상에 대한 고찰
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 p.191
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Total Mass Loss(TML)방법의 탈기체 평가 시스템 제작
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2001 p.110
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저진공펌프 배기구의 압력 및 기하학적 형상 변화에 기인한 펌프성능변화 진단
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2001 p.114
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