레이저 습식 후면 식각공정을 이용한 미세 유리 구조물 제작
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집A Vol.38 No.9 2014 pp.967-972
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
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