유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템의 공정 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2013 p.186
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유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 고속증착 시스템
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.45 No.2 2012 pp.75-80
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Characteristics of Al Doped ZnO Thin Film by Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.430
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Enhancement of Electrical and Optical Properties of AZO Thin Film Fabricated by Magnetron Sputtering
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.168
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2D Fluid Modeling of Ar Plasma in a 450 mm CCP Reactor
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.267
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유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 Cr 박막 증착 및 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.243
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마이크로웨이브 플라즈마를 이용한 탄화공정 및 PAN fiber의 강도 향상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.45 No.2 2012 pp.89-94
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Al doped ZnO 박막 증착을 위한 모듈레이티드 펄스 스퍼터링
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.45 No.2 2012 pp.53-60
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300 mm 웨이퍼용 식각 장비에서 병렬 안테나의 전류비 조절에 의한 식각 균일도 측정
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2011 p.155
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300 mm 웨이퍼용 장치에서 펄스 바이어스가 인가된 고밀도 유도결합 플라즈마의 수치 계산
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2011 p.112
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수치모델과 고속 CCD 카메라를 이용한 세변기 표면 처리 효과 특성 해석
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.44 No.1 2011 pp.32-37
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플라즈마 보조 전자빔 정련을 이용한 Si내의 불순물 제거
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.286
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ICP 식각 장치에서 GDP 구조 및 유량비율에 의한 플라즈마 균일도 최적화에 대한 수치해석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.280
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마이크로파 Plasma 탄소 섬유 처리 장치에서 입력 전력에 따른 온도 변화
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2011 p.162
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플라즈마에 의한 웨이퍼 가열과 Si 식각 속도의 변화 모델링
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.291
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SiO2 식각 시 CF4+Ar 혼합비에 따른 플라즈마 내의 화학종 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 pp.238-239
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수치모델을 이용한 pulsed dc bias ICP장치의 플라즈마 특성 해석
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.43 No.3 2010 pp.154-158
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450 mm 웨이퍼 공정용 System의 기하학적 구조에 따른 플라즈마 균일도 모델링 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.3 2010 pp.190-198
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백색 LED증착용 MOCVD장치에서 유도가열을 이용한 기판의 온도 균일도 향상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.463
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플라즈마를 이용한 Toilet 오염 방지 표면 처리 기술의 개발 -I. 오염 현상의 정량적 평가-
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.401
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