Zr 원소 첨가에 따른 $TiSi_2$ 응집화 현상의 억제
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1998 p.38
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단결정과 비정질 Si 기판에서 Co/Zr 이중층을 이용한 $CoSi_{2}$ 형성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.7 1998 pp.621-627
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Si 기판에서 구리와 철 금속불순물의 제거에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.9 1998 pp.837-842
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Si(100)기판위에서의 C49 $\textrm{ZrSi}_{2}$의 형성과 특성 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.7 No.11 1997 pp.964-968
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The study of the formation of Co$Si_{2}$through the thin oxide interlayer of Si(100)
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1997 p.13
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$Nb_2O_5$를 첨가한 $SrTiO_3$의 비정상 입성장에 미치는 Ti/Sr 비의 영향
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.34 No.8 1997 pp.791-796
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건식세정에 의한 Si 표면의 금속불순물 제거에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1997 p.54
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기판조건에 따른 Co/Zr 이중층을 이용한 epitaxial CoS$Si_{2}$ 성장 및 특성연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1997 p.10
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HF-last Cleaning에서 SC-1 step과 $UV/O_3$ step이 gate 산화막에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.6 No.4 1996 pp.395-400
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리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 기판 위의 Cu 불순물 제거
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.6 No.8 1996 pp.817-824
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리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면의 금속오명 제거
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.6 No.7 1996 pp.661-670
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$UV/O_3$과 HF 세정이 금속불순물 제거와 gate 산화막 특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 p.75
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표면구조변화에 따른 C49 ZrSi$_2$의 성장 및 특성연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 p.70
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금속불순물 제거를 위한 UV/ozone과 HF 세정연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.6 No.11 1996 pp.1127-1135
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리모트 수소 플라즈마를 이용한 실리콘 표면의 금속오염 제거 및 제거기구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 pp.155-157
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$4^{\circ}$ off-axis Si(100)와 on-axis Si(100) 기판위에서의 Ti 실리사이드상 형성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 p.62
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$TiSi_2$의 상전이에 미치는 박막의 두께 및 기판의 방위의 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.5 No.7 1995 pp.820-828
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초청정 Si기판에 동시 증착된 $TiSi_2$ 의 상전이 및 형성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.4 No.1 1994 pp.107-112
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