ICP와 헬리콘 플라즈마를 이용한 대면적 고밀도 플라즈마 소스 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.340
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Electrosurgery Sparks induced Stimulating Current at Active Electrode
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.318
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Multi-hole RF CCP 방전에서 방전 주파수가 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.145
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An Indirect Method to Monitor Plasma Status in a Transformer Coupled Plasma
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.216
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Cut-off Probe Frequency Spectrum의 물리적 해석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.200
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The improvement of cut-off probe for measuring plasma density at hard conditions
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.202
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Development of Large-area Plasma Sources for Solar Cell and Display Panel Device Manufacturing
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.148
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Laser Thomson Scattering for Measuring Plasma Temperature and Density in ICP
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.144
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Measurement of plasma potential by a biased cut off probe
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.465
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RF 플라즈마 아킹의 PM-tube를 이용한 광량 측정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 pp.125-126
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Ar 전자빔 플라즈마에서 외부 그리드 전압이 플라즈마 변수에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.445
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Multiple Hole Electrode를 이용한 RF CCP에서의 홀 디자인에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.437
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대면적 Capacitively Coupled Plasma에서 Multi power feeding에 따른 Plasma uniformity 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.471
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솔라셀용 uC-Si:H 박막 증착공정을 위한 플라즈마 소스에 대한 고찰 및 multi-hole hollow cathode CCP에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.409
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Ar 전자빔 플라즈마에서 다중 이온화 효과로 인해 전자 온도가 낮아지는 현상
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.279
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Performance analysis of ion beam sources with Laser-Induced Fluorescence
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.282
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Hollow cathode effect in RF CCP
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.412
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