신개념 알고리즘 OES(Optical Emission Spectroscopy)를 통한 Arcing 진단기술 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.267
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Performance analysis of ion beam sources with Laser-Induced Fluorescence
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.282
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적외선램프가열에 의한 진공재료의 탈기체 측정장치(TDS) 개발 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2009 p.304
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플라즈마에서 OES(Optical Emission Spectroscopy)를 통한 leak 발생 감지 기술
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.271
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Deposition of carbon nitride thin films by using radical source
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2008 p.153
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[Kisti 연계] 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 학술대회논문집 2007 pp.922-925
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The Chemical Structure of a-SiOC:H Films Prepared by PECVD Using the Double Bubbler Systems
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.55
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반도체용 Precursor 증기압 측정 신뢰도향상 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.58
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In-situ FT-IR diagnostics for monitoring of the aluminum chemical vapor deposition
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.13
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공정용 건식 저 진공 펌프의 stator/rotor 교체에 따른 운전 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.131
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.15 No.5 2006 pp.485-492
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