이온화클러스터빔 증착법에 의한 구리 박막의 반도체 접촉구 메움 향상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.118-126
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ICBD(Ionized cluster Beam Depposition) 방법에 의한 Patterned Si 기판위 Cu 박막의 Step Coverage와 평탄화 기술연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.115-116
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ICBD(Ionized Cluster Beam Deposition) 방법에 의한 Patterned Si 기판위 Cu 박막의 Step coverage와 평탄화 기술 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1997 p.36
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Growth of GaN on Sapphire and Amorpphous $Al_2O_3$ on Si by Reactive Ion Molecular Beam.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 p.27
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