RF 플라즈마 CVD에 의해 합성된 질소 함유 다이아몬드성 카본필름의 구조 및 기계적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.2 1997 pp.151-158
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$BCl3-NH3-Ar$계의 플라즈마화학증착공정을 이용한 질화붕소막의 합성
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.34 No.3 1997 pp.249-256
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Si 기판과 일정방향관계를 갖는 근사단결정 다이아몬드 박막 합성
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.31 No.4 1994 pp.457-463
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