산화막 CMP 공정에서 슬러리 온도 변화에 따른 연마 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.18 No.3 2005 pp.219-225
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.18 No.1 2005 pp.12-16
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CMP 공정중 TEOS 막의 슬러리 온도 변화에 따른 표면 분석 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.645-646
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$BaTiO_3$ 및 $TiO_2$ 연마제 첨가를 통한 BTO박막의 CMP
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.68-69
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2005 pp.113-114
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슬러리 종류에 따른 $SnO_2$ 박막의 광역평탄화 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.389-392
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실리카 슬러리의 온도 변화에 따른 산화막의 CMP 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.707-710
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.89-92
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.17 No.2 2004 pp.138-143
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[Kisti 연계] 대한전기학회 대한전기학회 학술대회논문집 2004 pp.1727-1729
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.93-96
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.313-316
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.188-191
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.37-40
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.335-338
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.184-187
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슬러리의 조성에 따른 산화막 CMP 연마율과 균일도 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.41-44
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.12-14
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.378-381
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열처리공정에 따른 층상 ReSe2 디바이스의 접촉 저항 개선 연구
[NRF 연계] 조선대학교 공학기술연구원 공학기술논문지 Vol.10 No.1 2017.03 pp.37-41
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