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Vol.50 No.6 (5건)

반도체용 실리콘 웨이퍼의 초정밀 입자 가공

이은상, 이정택, 원종구

[Kisti 연계] 대한기계학회 기계저널 Vol.50 No.6 2010 pp.32-35

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초정밀 가공의 산업적 응용

이석우

[Kisti 연계] 대한기계학회 기계저널 Vol.50 No.6 2010 pp.48-52

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전기 화학적 미세 가공 기술

한민섭, 민병권

[Kisti 연계] 대한기계학회 기계저널 Vol.50 No.6 2010 pp.53-56

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