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한국표면공학회지

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Vol.23 No.4 (5건)

MOVPE 단결정층 성장법 III. 원자층 성장법

정원국

[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.23 No.4 1990 pp.197-207

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ECR 플라즈마를 이용한 실리콘화박막증착

송선규, 장홍영

[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.23 No.4 1990 pp.218-224

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초(극)고진공에서 진공재료의 기체방출

박종윤

[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.23 No.4 1990 pp.230-236

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