간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국전기전자재료학회
- 수록기간
- 1988 ~ 2010
- 주제분류
- 공학 > 전기공학
2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17 (178건)
균일한 입도분포를 가진 큰 입자(120nm)로 구성된 친환경적인 반도체 연마제용 Colloidal Silica 개발
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.129-131
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
The effect of pH adjustor on the Cu CMP (Chemical Mechanical Planarization)
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.132-135
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Membrane Embedded Polisher Head의 Plate 구조의 영향
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.136-139
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텅스텐 CMP에서 디싱 및 에로젼 결함 감소에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.140-143
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홑겹 탄소 나노튜브 네트워크의 게이트 의존성과 온도 의존성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.147-150
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.151-154
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$C_2F_6$ 유도 결합 플라즈마를 이용한 질산화막 식각공정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.155-158
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유전자 알고리즘과 레이디얼 베이시스 함수망을 이용한 플라즈마 식각공정 모델링
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.159-162
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고성능 저전압 모바일향 90nm DRAM을 위한 비대칭 채널구조를 갖는 Recess Channel Array Transistor의 제작 및 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.163-166
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Hot Wall Epitaxy (HWE) 방법으로 성장된 $CuGaTe_2/GaAs$ 에피레이어의 광학적 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.167-170
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.171-174
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Hot Wall Epitaxy (HWE)에 의한 성장된 $ZnIn_2S_4/GaAs$ 에피레이어의 광학적 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.175-178
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Properties for the $CdIn_2Te_4$ Single Crystal
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.179-182
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$BCl_3/N_2$ 유도결합 플라즈마로 식각된 PZT 박막의 식각 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.183-186
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.187-190
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$(Pb_{0.72}La_{0.28})Ti_{0.94}O_3$ buffer를 사용한 $Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$ 박막의 수소 후열처리 효과
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.191-194
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.195-198
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Memory Device for the Next Generation(Nano-Floating Gate Memory)
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.199-202
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헬리콘 플라즈마를 이용한 $Ge_2Sb_2Te_5(GST)$ 상변화 재료의 식각 특성 검토
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.203-206
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.207-209
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비정질 $Ge_2Sb_2Te_5$ 박막의 상변화에 따른 전기적 특성 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.210-213
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탄화규소 단결정 성장시 원료분말 상(Phase)의 영향
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.214-217
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범함수궤도법을 이용하여 계산한 Al, Ga, In이 도핑된 ZnO의 전자상태
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.218-221
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.222-225
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.226-229
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.230-233
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Hot Walll Epitaxy (HWE)법에 의한 $CuInSe_2$ 단결정 박막 성장과 가전자대 갈라짐에 대한 광전류 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.234-238
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.239-242
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The Study on Material Properties of Boron Phosphide
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.243-246
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배치식 플라즈마 세정 설비를 이용한 자연산화막 제거 공정
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2004 pp.247-251
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