earticle

논문검색

전기전자재료

간행물 정보

간행물 내 검색

All issues

Vol.19 No.6 (4건)

반도체 공정용 플라즈마 발생장치의 종류와 특성

이상원

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.19 No.6 2006 pp.3-7

원문보기

협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

플라즈마 진단방법의 소개

서상훈

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.19 No.6 2006 pp.8-12

원문보기

협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

플라즈마 공정 시 비 접촉식 방법으로 이온에너지 분포 및 상태변수 측정 연구

오세진, 윤인창, 정진욱

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.19 No.6 2006 pp.13-21

원문보기

협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

플라즈마 공정의 신경망 제어기술

김병찬

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.19 No.6 2006 pp.22-28

원문보기

협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

All issues