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한국재료학회지

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Vol.7 No.10 (15건)

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

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ECR plasma CVD법에 의한 저유전율 SiOF 박막의 특성

이석형, 오경희

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.7 No.10 1997 pp.851-855

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열처리 조건에 따른 MOCVD Cu 박막의 특성 변화

김동원

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.7 No.10 1997 pp.884-890

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