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SIMS Depth Profiling을 이용한 동선(Copper Wires)의 표면 산화 및 흡착에 대한 연구

원문정보

Study of thermal oxidization and adsorption in the copper wire using SIMS Depth Profiling

박종진, 홍태은, 이동계, 조영진, 서영일, 문병선, 박종찬, 박혁규, 이정식

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목차

Abstract
 I. 서론
 II. 실험방법
 III. 결과
 IV. 결론
 V. 참고문헌

저자정보

  • 박종진 Jong-Jin Park. 국립과학수사연구소 남부분소
  • 홍태은 Eae-Eun Hong. 한국기초과학지원연구원
  • 이동계 Dong-Kye Lee. 국립과학수사연구소 남부분소
  • 조영진 Young-Jin Cho. 국립과학수사연구소 남부분소
  • 서영일 Young-Il Seo. 국립과학수사연구소 남부분소
  • 문병선 Byung-sun Moon. 국립과학수사연구소 남부분소
  • 박종찬 Jong-chan Park. 국립과학수사연구소 남부분소
  • 박혁규 Hyuk-Kyu Park. 경성대학교 물리학과
  • 이정식 Jeong-Sik Lee. 국립과학수사연구소 남부분소

참고문헌

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