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영어

In this paper the glass inspection system for the thickness and flatness is implemented. Laser sensors and robot arms required for glass measurements is tested on the performance assesment. Three kinds of laser sensors are used and analysed, and 3-axis robot arm with the ball-screwed type is implemented. Thus the methods of glass measurement is discussed and the difficulties are solved to propose the solutions. To minimize the errors of glass measurement the system is improved as considered device errors.

한국어

본 논문에서는 평판 디스플레이용 유리의 평탄 도와 두께를 측정하기 위한 검사시스템을 구성한다. 유리 계측에 필요한 레이저센서와 로봇 암의 성능을 분석 및 해석한다. 3가지 레이저 센서를 사용하여 비교 분석하였고, 로봇암은 볼 스크루 타입을 사용하여 유리 계측 방법을 논하고, 문제점을 찾아내어 해결책을 제시한다. 유리의 평탄도와 두께 측정에 있어 스테이지와 로봇암에 의한 오차를 최소화하기 위해서 기구적 오차를 고려한 계측을 통해 성능을 개선한다.