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영어

This paper has covered the control library of FPD inspection system. This developed library consists of OPC clients, stage driver, switch driver, microscope driver, image processing, aligment, and task management. The test program for them has been developed and all functions has been performed. In control area, OPC becomes the global standard, sends/receives the data with PLC programs of inspection system via network, and manages various data using OPC server. In order to load the real machine, performance test has been done successfully according to the test programs to PLC.

한국어

본 논문에서는 FPD 검사장비에 제어용 라이브러리를 연구 개발을 하였다. 개발된 라이브러리는 OPC 클라이어트, 스테이지 구동, 스위치 구동, 현미경 구동, 화상처리, 얼라이먼트, 태스크 관리로 나뉘며, 라이브러리 테스트 프로그램을 개발하여 모든 라이브러리의 기능 구현 테스트를 실시하고 있다. 제어 시스템 분야에서 세계 표준인 OPC 개념을 도입하여, 검사 장비의 PLC 프로그램과 네트워크를 통해 데이터를 주고, 받을 수 있도록 OPC 서버를 사용하여 데이터를 관리하였다. 실제 검사장비에 탑재하기 전에 성능테스트를 위해 PLC에 테스트 프로그램을 입력하여 성공적인 실험을 하였다.