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스퍼터링법에 의해 제조된 ITO 박막필름에 있어서 증착조건에 따른 전기특성에 관한 연구

원문정보

The Study on Electrical Properties with Deposition Conditions in ITO Thin Film by sputtering Process

박지웅, 김철경, 김문선

한국EHS평가학회 한국EHS평가학회지 Vol.5 No.4 2007.12 pp.47-54
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목차

요약
 Abstract
 I. 서론
 II. 실험 방법
 III. 결과 및 고찰
 IV. 결론
 참고문헌

키워드

저자정보

  • 박지웅 Ji-Woong Park. 목원대학교 디자인소재학과
  • 김철경 Chul-Kyung Kim. 목원대학교 디자인소재학과
  • 김문선 Moon-Sun Kim. 성균관대학교 화학공학과

참고문헌

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