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목차
I. 서론
II. 본론
1. CMOS 공정 기반 HfO2 초박막 도파로 제작
2. 도파로 특성 변수 조절에 따른 초박막 도파로의광 전파 특성 분석
III. 결론
감사의 글
참고문헌
II. 본론
1. CMOS 공정 기반 HfO2 초박막 도파로 제작
2. 도파로 특성 변수 조절에 따른 초박막 도파로의광 전파 특성 분석
III. 결론
감사의 글
참고문헌
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