earticle

영어

A design of broadband guided-mode resonance (GMR) filter consisting of a grating layer with a dielectric V-Ridge grating profile and a uniform layer made of silicon is presented. By determining the optimized base angle of grating and thickness of the homogeneous layer using modal transmission line theory (EP-MTLT) based on eigenvalue problem, the design structure of diffraction grating for polarization is optimized. The deviation effect of parameters is quantified, the internal electric field distribution is simulated at the resonance wavelength, and the tolerance for incident angle of optimized broadband resonator is calculated. The base angle plays an important role in determining the resonance bandwidth, and those models can be used as a prototype for the fabrication of such devices using a diamond tip-based grating control engine.

한국어

유전체 V-Ridge 격자 프로파일을 가진 격자층과 실리콘으로 만든 균일한 층으로 구성된 광대역 유도 모드 공진 필터의 설계를 제시하였다. 고유치 문제에 기초한 모드 전송선로 이론 (EP-MTLT)을 사용하여 격자의 최적화된 기저 각도와 균질 층의 두께를 결정함으로써, 편광을 위한 회절 격자 설계 구조를 최적화하였다. 매개변수의 편차 효과를 정량 화하고, 공명 파장에서 내부 전기장 분포를 시뮬레이션하며, 최적화된 광대역 공진기의 입사각에 대한 허용 오차를 계산 하였다. 기저 각도는 공진 대역폭을 결정하는 데 중요한 역할을 하며, 이 모델은 다양한 스펙트럼 대역에서 작동하는 광대역 유도 모드 공진기를 설계하고 다이아몬드 팁 기반 격자 제어 엔진을 사용하여 이러한 장치의 제작을 위한 프로토 타입으로 사용할 수 있다.