earticle

논문검색

<생산기술>

광학측정 시 각도변화에 따른 표면거칠기 오차발생에 관한 연구

원문정보

Study on Occurrence of Error in Surface Roughness Due to Changes in Angle during Optical Measurement

정현석, 최지선

피인용수 : 0(자료제공 : 네이버학술정보)

초록

영어

The results of the measurements using an optical surface roughness meter are shown according to the angle changes of 0, 0.5, 1, 1.5, 2, and 3°. Through the experiment, it can be seen that the measurement value is 3.140 at 0°, 3.148 at 0.5°, 3.140 at 1°, 3.151 at 1.5°, 5.078 at 2°, and 4.790 at 3° setting. In addition, the test statistic (P) value is 0.000, which is smaller than the significance level of 0.005, so it was confirmed through the experiment that a measurement error occurs according to the angle change when measuring the surface roughness.

목차

Abstract
1. 서론
2. 관련이론
2.1 표면 거칠기 측정이론
3. 실험장치 및 방법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
References

저자정보

  • 정현석 H. S Jung. Dept. Semiconductor quality measurement of Korea Polytechnic colleges
  • 최지선 J. S Choi. Assistant Professor Dept. Semiconductor convergence machine of Korea Polytechnic colleges

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

    함께 이용한 논문

      ※ 기관로그인 시 무료 이용이 가능합니다.
      ※ 학술발표대회집, 워크숍 자료집 중 4페이지 이내 논문은 '요약'만 제공되는 경우가 있으니, 구매 전에 간행물명, 페이지 수 확인 부탁 드립니다.

      • 4,000원

      0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.