원문정보
목차
국문요약
ABSTRACT
I. 서론
II. 연구내용 및 방법
2.1 Plasma-wet 스크러버 구성
2.2 실험 장치 및 조건
2.3 데이터 분석
2.4 PFCs 처리 및 재결합 반응
III. 결과 및 고찰
3.1 E 타입에서 PFCs의 처리
3.2 WF 타입에서 PFCs의 처리
3.3 타입별 PFCs의 저감효율
3.4 부생가스 발생 비율
IV. 결론
감사의 글
참고문헌
ABSTRACT
I. 서론
II. 연구내용 및 방법
2.1 Plasma-wet 스크러버 구성
2.2 실험 장치 및 조건
2.3 데이터 분석
2.4 PFCs 처리 및 재결합 반응
III. 결과 및 고찰
3.1 E 타입에서 PFCs의 처리
3.2 WF 타입에서 PFCs의 처리
3.3 타입별 PFCs의 저감효율
3.4 부생가스 발생 비율
IV. 결론
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