earticle

논문검색

산소분위기의 상압플라즈마를 이용한 페로브스카이트 표면 처리 효과

원문정보

Effect of Perovskite Surface Treatment Using Oxygen Atmospheric Pressure Plasma

김경보, 이종필, 김무진

피인용수 : 0(자료제공 : 네이버학술정보)

초록

영어

Recently, research on perovskite semiconductor materials has been performed, and the evaluation of properties using surface treatment for this material is the basis for subsequent studies. We studied the results of surface treatment of perovskite thin films exposed to air for about 6 months by generating oxygen plasma with an atmospheric pressure plasma equipment. The reason for exposure for 6 months is that the perovskite thin film is made of organic and inorganic substances, so when exposed to air, the surface changes through reaction with oxygen or water vapor. Therefore, this change is to investigate whether it is possible to restore the original film. The surface shape and the ratio of elements were analyzed by varying the process time from 1 s to 1200 s in an oxygen plasma atmosphere. It was found that the crystal grains change over a process time of 5 s or more. In order to maintain the properties of the deposited film, it is the optimal process condition between 2 s and 5 s.

한국어

최근 페로브스카이트 반도체 물질에 대한 연구가 이루어지고 있고, 이 물질에 대한 표면 처리를 이용한 특성 평가는 후속 연구들의 기반이 된다. 따라서, 본 논문에서는 상압분위기에서 플라즈마가 형성되는 상압플라즈 마 장비로 산소 플라즈마를 생성하여 공기중에 약 6개월정도 노출시킨 페로브스카이트 박막을 표면 처리한 결과에 대해 연구하였다. 6개월간 노출시킨 이유는 페로브스카이트 박막은 유기물과 무기물로 이루어져 있기 때문에 공기 중에 노출되면, 산소나 수증기와의 반응을 통해 표면이 변화된다. 따라서, 이러한 변화를 원래 막으로의 복원이 가 능한지 알아보기 위함이다. 산소플라즈마 분위기에서 1초부터 1200초까지 공정 시간을 변화시켜 가면서 표면 형상 과 원소들 비율을 분석하였다. 이러한 결과는 페로브스카이트 막이 시간에 따라 변화가 일어나더라도 플라즈마 처 리를 통해 이를 해결하는 방안을 제공한다.

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 본론
2.1 실험 방법
2.2 상압 플라즈마 처리된 페로브스카이트 박막의 표면 특성
3. 결론
4. 결과 및 고찰
REFERENCES

저자정보

  • 김경보 Kyoung-Bo Kim. 인하공업전문대학 금속재료과 교수
  • 이종필 Jongpil Lee. 중원대학교 전기전자공학과 교수
  • 김무진 Moojin Kim. 강남대학교 IoT전자공학과 교수

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

    함께 이용한 논문

      ※ 기관로그인 시 무료 이용이 가능합니다.

      • 4,000원

      0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.