earticle

영어

In a light emitting diode-based semiconductor light source that is variously applied as a display light source, luminous efficiency is a very important optical property, and various research methods including multiple quantum wells have been proposed to increase the luminous efficiency. However, since the efficiency improvement is basically based on the planar structure, there was a limit to the improvement of optical properties. In this study, nano holes were formed through micro patterns and etching of silicon oxide, different from the conventional structure are proposed. In addition, it is possible to implement a nano sized columnar structure through nano holes of silicon oxide, and by depositing a light emitting layer on the nano structure, it is intended to present a semiconductor light source having a nano-sized light emitting structure.

한국어

디스플레이 광원으로서 다양하게 적용되고 있는 발광다이오드 기반의 반도체 광원에서 발광 효율은 매우 중요한 광학적 특징이며, 이러한 발광 효율 향상을 위하여 다중양자우물층을 포함하는 다양한 연구 방법이 제시되 어져 왔다. 하지만 이러한 효율 향상은 기본적으로 평면 구조에 기반을 두고 있음에 따라 광학적 특성 향상에 제 약이 되어 왔다. 본 연구에서는 실리콘 산화물의 미세 패턴과 이를 이용한 에칭을 통해 나노 홀을 형성하고자 하 였다. 또한, 실리콘 산화물의 나노 홀과 이를 통한 나노 크기의 원주형 구조를 구현할 수 있으며, 이러한 나노 원 주 구조에 발광층을 증착시킴에 따라 나노 크기의 발광 구조를 가지는 반도체 광원을 제시하고자 한다.